自1910年Cernovedeow和Henvi第一次将紫外线消毒技术用于饮用水消毒,紫外线技术在水处理领域得到了快速发展。在欧美许多国家的水处理厂中,紫外线杀菌器被广泛采用。如在芬兰的赫尔辛基处理能力达万3的紫外线消毒装置已在一家企业投入使用。从70年代末期开始，紫外线消毒技术被广泛的应用于饮用水和市政污水的消毒工艺。
1987年在美国的佐治亚州，大约有1.3万居民同时发生了肠炎症状，在自来水中找到了隐孢子虫的囊卵，这是历史上第一次隐孢子虫病通过市政供水系统大规模爆发。1993年，美国威斯康星州的市政供水系统又一次被隐孢子虫污染，40万人同时腹泻。1987年在国内也发现了人体隐孢子虫病的病例，随后其他一些省市也相继报到了一些病例，在腹泻患者中，隐孢子虫的检出率达13.3%。在发生疫情的引用水处理系统中，消毒工艺均采用氯化消毒法(包括氯气、次氯酸钠、二氧化氯和氯胺)，经检验氯化消毒系统运行正常，并且保障足够的余氯量和接触时间。大量事实和研究表明，传统的氯化消毒方法不能提供足够的剂量，在隐孢子虫侵入时不足以确保饮用水的供水安全。紫外线消毒技术的不断进步和紫外线消毒反应器的不断完善，从1993年对隐孢子虫90%除率，达到1999年99.99%的去除率。紫外线技术已被认可为适合杀灭隐孢子虫(Cryptosporidium)和贾第鞭毛虫(Giardia)消毒的技术，特别适用于地表水和其它易受感染水源。这也美国将紫外消毒工艺作为自来水消毒的最佳手段写入供水法规中的原因。
紫外线消毒技术是一种物理消毒方式，具有广谱杀菌能力，也是唯一不会产生消毒副产物的消毒方法。目前，紫外线消毒技术已经发展成为安全可靠、高效环保的消毒技术，在国外各个领域得到了广泛的运用。在我国，紫外线消毒技术因其节能环保的特性而日益受到注重与推广，正逐步取代传统化学消毒方法，成为主流的水处理净化技术。而随着紫外线消毒技术的不断成熟，紫外线消毒产品在不断进步的同时也逐渐得到国内设计师和终端用户的青睐。